De toepassing van persluchtfilters in de halfgeleiderindustrie

De toepassing van persluchtfilters in de halfgeleiderindustrie is cruciaal, voornamelijk weerspiegeld in het waarborgen van de reinheid van de productieomgeving, het beheersen van temperatuur en vochtigheid, het voorkomen van lekkage van schadelijke gassen en het voldoen aan de gasbehoefte van apparatuur.

Zorg voor de reinheid van de productieomgeving

Het productieproces van halfgeleiders is uiterst geavanceerd en complex. Zelfs minuscule stofdeeltjes of verontreinigingen kunnen kortsluiting, defecten of zelfs afkeuring van chips veroorzaken.

De halfgeleiderproductiewerkplaats moet een zeer schone luchtomgeving handhaven en luchtfilters zijn essentiële apparatuur om dit doel te bereiken. In alle aspecten van de halfgeleiderproductie, zoals fotolithografie, etsen en dunne-film depositie, is het noodzakelijk om deeltjesverontreinigingen in de lucht strikt te beheersen. Efficiënte luchtfilters kunnen minuscule deeltjes, bacteriën, virussen, chemische verontreinigingen en geuren in de lucht effectief verwijderen. Door laag-voor-laag filtratie voorzien ze de productiewerkplaats van ultra-schone lucht die aan de normen voldoet, waardoor de interferentie van onzuiverheden op het chipfabricageproces wordt geminimaliseerd.

Beheers temperatuur en vochtigheid tijdens het productieproces

Een stabiele temperatuur- en vochtigheidsomgeving heeft een belangrijke impact op de prestaties van halfgeleidermaterialen en de nauwkeurigheid van het productieproces. Een goed luchtfiltratiesysteem kan samenwerken met het airconditioningsysteem om een constante temperatuur en vochtigheid in de productiewerkplaats te handhaven om de stabiliteit en consistentie van het halfgeleiderfabricageproces te waarborgen.

Voldoen aan de gasbehoefte van apparatuur

· Reinigings- en koelapparatuur: In de halfgeleiderindustrie wordt perslucht gebruikt om halfgeleiderapparatuur te reinigen en te koelen. Omdat de minuscule deeltjes en vocht in de perslucht zijn verwijderd, kan deze worden gebruikt om het oppervlak en de binnenkant van de apparatuur te reinigen. Bovendien kan perslucht ook worden gebruikt om halfgeleiderapparatuur te koelen om de normale werking ervan te garanderen en de levensduur te verlengen.

· Beheersen van omgevingscondities: Door perslucht in de productieomgeving te introduceren, kunnen de temperatuur en vochtigheid worden aangepast om constante werkomstandigheden te handhaven. Bovendien kan perslucht ook stof en onzuiverheden blokkeren door een luchtstroom te vormen om de productieomgeving schoon te houden.

· Leveren van energiebron: Een grote hoeveelheid perslucht is vereist in de halfgeleiderproductie om een energiebron te leveren voor het aandrijven van robotarmen, transportbanden, koelkasten, elektrische apparatuur en het transport van chemicaliën. Bovendien kan perslucht ook worden gebruikt om chemicaliën, halfgeleidermaterialen, enz. naar vooraf bepaalde locaties te transporteren tijdens het productieproces via pneumatische transporttechnologie om de productie-efficiëntie te verbeteren.